各测点对此平面偏差中最大值与最小值之差为被测面平面度误差值此外还有检测铸铁平台表面度的方法，就是借助仪器光切显微镜以光切法丈量零件加工表面的微观不平度本文来源。

所谓节距法是使用桥板对被测面进行分段，由仪器读取各段前后两点测量线相对于标准直钱的倾斜角或高度差值，通过数据处理得到直线度平面度误差值的一种间接测量方法节距法又称角差法，其测量原理是把被测截线分成等距的。

根据检测平台的材质可分为铸铁检测平台和大理石检测平台大理石检测平台相对于铸铁检测平台来说精度更高，可以更好的用于电子精工产品的检测。